860压力固化烤箱（PCO）
压力固化烤箱（PCO）或高压容器用于使空隙最小化并增加通常用于贴装附着和底部填充应用中的粘合工艺的粘合强度
- PCO将空气加压到刚性容器中，并通过强制对流加热和冷却.
- 加热器，热交换器和鼓风机位于压力容器内部.
- 固化过程完成后，压力固化炉会自动将压力降低到1atm并冷却.
工艺规格：
- 处理时间：通常为120分钟或用户指定的时间
- 工作温度：60oC〜200oC
- 最高温度：220oC
- 工作压力：1 bar – 10 bar
- 能力值：24个弹夹(标准)
- 冷却方式：PCW（17oC – 23oC）
- 冷却水压力：25 – 40 psi
压力固化应用：
- 印刷工艺且复合成型
- 晶圆贴装
- 晶圆表层黏合
- 热压粘合
- 底部填充固化
- 通过填充
- 薄膜和胶带粘接
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压力固化炉
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气流式系统
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选项:真空模块
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PCO系统腔体
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腔室尺寸
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PCO系统尺寸
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带格板的腔室
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